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科研方向

微电子研究院致力于先进传感器工艺研发与应用研究,在北航青岛研究院建有500m2微纳加工实验室、500m2生物医学传感器实验室与微电子仿真实验室。其中传感器实验室为万级洁净间,配有国际领先的薄膜制备、微纳加工、表征测试设备;生物医学传感器实验室配有核心生物学实验设备,可进行交叉学科传感器应用研究;微电子仿真实验室配有高性能仿真服务器,可进行器件、电路等大规模仿真研究。

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