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研发平台

在北京航空航天大学、青岛市政府、崂山区政府以及歌尔集团的大力支持下,北航歌尔微电子创新技术研究院全力打造8英寸晶圆磁传感器芯片加工及测试平台,目前已建成500 m2千级洁净间,配有国际领先的薄膜沉积制备、微纳加工设备、磁性材料及微纳器件表征测试设备;医工交叉传感器实验室已建成无菌细胞培养室,并购置多种生物学实验设备,可进行交叉学科传感器应用研究;磁光测试实验室自主研发了多种国际领先的磁光测试设备,包括高分辨率磁光克尔显微镜,磁光成像与高频电学测试综合表征系统,低温磁光克尔显微镜,DMI磁光测量系统,矢量分辨磁光测试系统等;高功率可调谐飞秒激光研究平台于2019年开始建设,购置高功率(单脉冲能量7mJ)可调谐(波长调谐范围240nm-1200nm)飞秒(脉宽35fs)激光器。通过光路复用,激光光源可支撑多个方向的项目研发,并且提供对外共享服务;微电子仿真实验室配有高性能仿真服务器,可进行器件、电路等大规模仿真研究。

研发平台的建设契合产学研用结合的理念,能支撑高端智能磁传感器芯片的研发及产业化项目,满足微电子领域的前沿学术研究以及微电子专业的人才培养的需要,同时提供对外公共服务,促进本地区微电子行业的发展。

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