基本信息

联系方式

负责人：栾媛,0532-58666763,

luany@bhqditi.com

工程师：朱华敏，zhuhm@bhqditi.com

仪器产地

德国

分类标签

材料测试与加工仪器（形貌、曝光）

主要学科领域

材料学-一维、二维材料

测试内容

1.观察、分析和记录材料的微观形貌；

2.对磁性材料进行高分辨观察；

3.对样品进行电子束曝光；

技术指标

1、最大能测量8寸晶圆2、可实现1 nm @15 kV成像，1.8nm@1kV 3、放大倍率：10-1,000,000倍4、样品台最大移动范围指标：X≥120mm，Y≥120mm，Z≥45mm，双向倾斜，倾斜范围-10° ～90°，旋转=360°（连续旋转）；5.EBL可实现最大1000微米曝光，最小线宽可至20纳米级

主要功能

形貌表征、电子束曝光

样品要求

1、样品尺寸最大不超过8寸；2.样品干燥，真空下无挥发物，无碳氢化合物污染等。

预约说明

提前预约

检测周期

一般自收到样品后7天内给出结果

收费标准

1.常规形貌400元/小时，（需要制样的另加100元制样费，不导电样品加收50元喷金费）；2.磁性样品形貌测试500元/小时；3.电子束曝光680元/小时，电子束胶、显影液等另外计费；4.有特殊要求或样品加急，收费标准另议。