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表征设备
原子力显微镜

基本信息

联系方式

负责人:栾媛,0532-58666763,

luany@bhqditi.com

工程师:张洪超,zhc6335@126.com

仪器产地

德国

分类标签

材料测试仪器(形貌、性能)

分析仪器,显微镜,扫描探针显微镜

材料科学,纳米

主要学科领域

材料学-一维、二维材料(压电、磁畴性能)

测试服务内容

1.测试材料的形貌、粗糙度、厚度;2.测试粉末、块体、薄膜的压电响应(蝴蝶曲线、电滞回线);3.测试粉末、块体、薄膜的磁畴分布(MFM)、表面电势(EFM)

技术指标

1、最大能测量12寸晶圆

2、可实现Z轴高分辨成像,Z轴精度可达0.1 nm

3、压电响应可加10V电压

4、测二维材料厚度可测单层/多层石墨烯等;

5.带有磁性材料镀层的探针可实现磁畴成像(MFM)、表面电势测量(EFM)

主要功能

Dimension Icon原子力显微镜主要应用于材料的形貌、粗糙度、较小台阶(nm级厚度)测量,同时集成压电(PFM)、磁畴(MFM)、表面电势(EFM)等多功能测量。

样品要求

1、无衬底的粉末、液体,粉末颗粒大小不超过1微米,液体需滴加到硬基底上烘干后测量;2.有衬底的样品,硬基底大小最大12寸晶圆大小,最小无要求;3.测试压电、表面电势的材料需要将样品制备在导电基底上,基底大小最小不小于1*1cm。

预约说明

提前预约

检测周期

一般自收到样品后3天内给出结果

服务结果呈现形式

图片和数值形式,每个样品扫描3个位置,给出三张结果图

易损耗部位

探针、扫描管

收费标准

1.常规形貌、粗糙度、厚度500元/小时;若按样品计费,常规样品300元/样,需要制样的另加100制样费;

2.PFM 5000元/样(难测、步骤复杂,基于接触模式探针损耗,对于无衬底的粉末加收150制样费);

3.MFM/EFM,800/样(扫图时间是常规扫图的一倍,探针价值相对较高,需要制样的加收100制样费)

4.样品需要增加扫描点数和扫描位置的,需要增加价格,根据扫描点数和位置确定最终价格。

设备照片:

形貌测试图

三维图

薄膜台阶高度图

粉末PFM

薄膜MFM图

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