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仪器设备

1、磁控溅射沉积系统

设备介绍:

德国Singlus磁控溅射沉积系统是一台族群式溅射设备,可完成8寸薄膜溅射沉积过程,实现小批量生产,功能包括表面刻蚀、多材料物理气相沉积、自然氧化和真空退火功能,整个过程由CTC族群式控制器控制。

磁控溅射沉积系统性能特点及功能:

晶圆尺寸最大为8寸晶圆

12个PVD溅射靶材,靶材直径100mm

最多4个阴极共溅射

溅射模式分直流、脉冲直流和射频溅射

2个晶圆腔室,可一次性处理50个晶圆,整个过程可设置全自动并行实现

三个主要腔室,可完成表面刻蚀、多材料物理气相沉积、自然氧化和真空退火功能

溅射模式分动态和静态两种

可实现磁性和非磁性薄膜制备功能

可实现晶圆预清洗功能

可实现材料自然氧化功能

可实现真空退火功能

实拍照片如下图所示

2、OptiTrack大空间定位设备

型号Prime 13W

设备介绍:

OptiTrack运动捕捉系统拥有超大的捕捉空间,超高的捕捉精度0.01mm,可适应各种环境,在虚拟现实VR,影视动画,无人机定位及生物力学分析等众多领域均获得广泛应用。

系统参数如下:

捕捉范围:最大可扩展到17.5m x7.5m x 2.8m;

捕捉人数:最大可扩展到10人;

支持道具追踪,同时可追踪道具数最大可扩展到75个;

定位/重建精度:0.1mm;

通用的系统扩展方案,可方便的进行系统扩展;

最高采集速度:240FPS;

使用效果图如下图所示

http://www.luster3ds.com/Upload/image/201708/fcfd69911e3d4668b8259da9d9db36f8.png

3、微型CT

型号Skyscan 1174

设备介绍:

设备组成:高分辨率检测器;封闭式X射线球管;能量选择金属滤片;样品台;计算机工作站;配套专业图像数据处理和分析系统。

功能:系统通过应用CT成像技术,能够在动物样本水平直接观测其内部的生物学变化情况。

产品图片如下图:

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