高端磁传感器研发及产业化

团队：GMR及TMR传感器项目团队（负责人：冷群文教授）

介绍：以8英寸磁传感器加工及测试平台为基础，致力于新型巨磁阻（GMR）和隧穿磁阻（TMR）传感器芯片的工艺研发和实现产业化。项目研究涉及多层磁性薄膜涉及、制备及优化、微纳器件加工工艺、薄膜材料及自旋电子器件的测试、芯片封装等环节。与传统的Hall传感器及各向异性磁电阻（AMR）传感器相比，GMR传感器及TMR传感器具有灵敏度高（分别可达pT和10 fT量级）、体积微小、温度稳定性好以及可嵌入等优点，在手机罗盘、汽车自动驾驶与导航、可穿戴设备方向感知、无损探伤、疾病诊疗、心磁脑磁等若信号探测等方面具有重要应用价值。

论文列表：

[1]S. Yan, Z. Cao, Z. Guo, Z. Zheng, A. Cao, Y. Qi, Q. Leng, and W. Zhao, Design and fabrication of full wheatstone- bridge-based angular GMR sensors, Sensors (Switzerland)18, 1 (2018).